Welche Kalibriermethoden gibt es für Schichtdickenmessgeräte?
Welche Kalibriermethoden gibt es für Schichtdickenmessgeräte? Es gibt drei Hauptkalibrierungsmethoden für Schichtdickenmessgeräte: Systemkalibrierung, Zweipunktkalibrierung und eisenbasierte Kalibrierung. Unter normalen Umständen ist für eine genaue Messung nur eine Kalibrierung auf Eisenbasis erforderlich. Wenn der Magnetismus und die Oberflächenrauheit der Eisenbasis des Instruments und der Eisenbasis des Messobjekts stark unterschiedlich sind, kann eine Systemkalibrierung durchgeführt werden, um die Messgenauigkeit sicherzustellen. Als nächstes stellen wir die Methode zur Kalibrierung des Schichtdickenmessgeräts im Detail vor.
(1) Kalibrierung auf Eisenbasis
Die magnetischen Eigenschaften und die Oberflächenrauheit des Standard-Grundmetalls des Instruments müssen denen des Grundmetalls des Prüfstücks ähnlich sein. Um die Genauigkeit der Messung sicherzustellen, kann vor der Messung des Prüflings eine Eisenkalibrierung durchgeführt werden.
Kalibrierungsmethode: Nachdem das Instrument eingeschaltet ist, platzieren Sie zunächst die Sonde auf dem freiliegenden Substrat des zu messenden Teststücks, messen Sie zweimal, drücken Sie die Taste „CAL“, während Sie die Sonde ein zweites Mal nach der zweiten Messung gedrückt halten, und dann Eine Kalibrierung auf Eisenbasis ist möglich. Wenn keine zwei Pieptöne zu hören sind, bedeutet dies, dass der Vorgang fehlerhaft ist. Wiederholen Sie die oben genannten Schritte, bis zwei Pieptöne zu hören sind.
(2) Zweipunktkalibrierung
Wenn während des Messvorgangs festgestellt wird, dass die Abweichung einzelner Messwerte groß ist, kann diese durch die Zweipunkt-Kalibrierungsmethode angepasst werden.
Kalibrierungsmethode: Messen Sie ein Teststück mit bekannter Dicke als Standardprobe. Wenn der angezeigte Wert nicht mit dem tatsächlichen Wert übereinstimmt, können Sie mit den Tasten „▲“ und „▼“ 1 addieren oder subtrahieren. Halten Sie die Taste „ Mit den Tasten „▲“ und „▼“ führen Sie eine kontinuierliche Addition und Subtraktion durch, bis der angezeigte Wert mit dem tatsächlichen Wert übereinstimmt. Nach Abschluss der Kalibrierung kann eine normale Messung durchgeführt werden.
Hinweis: Die Dicke des während der Zweipunktkalibrierung ausgewählten Teststücks sollte nicht in der Nähe des Werts der fünf Proben während der Systemkalibrierung liegen, da sonst der Vorgang ungültig wird.
Wenn die Kalibrierung der fünften Probe abgeschlossen ist, zeigt der Bildschirm „0000“ an und ruft die Boot-Schnittstelle auf, wie in Abbildung A dargestellt. Das Instrument hat nun den Systemkalibrierungsprozess abgeschlossen. Anschließend kann das DUT verwendet werden direkt gemessen.
Hinweis: Für diese fünf Muster können die bereitgestellten Standardbleche oder Muster mit bekannter Dicke als Standardbleche verwendet werden. Die Kalibrierung der Proben sollte in der Reihenfolge von klein nach groß erfolgen und es sollte ein gewisser Unterschied zwischen benachbarten Proben bestehen.
