Temperaturkompensations-Messverfahren für Schichtdickenmessgeräte
Das Temperaturkompensations-Messverfahren des Schichtdickenmessgeräts umfasst den Temperaturkoeffizienten-Kalibrierungsschritt, den Start-Null-Kalibrierungsschritt und den Arbeitsschritt der Dickenmessung und berechnet schließlich den Wert der tatsächlichen Beschichtungsdicke dx; unter Verwendung der Korrelation zwischen der elektromagnetischen Feldänderung der Induktionsspule und der Temperatur, d. h. in Der Wert am unendlichen Ende wird einmal während des Messvorgangs gemessen, und der Temperaturänderungskoeffizient am unendlichen Ende ist proportional zum Temperaturänderungskoeffizienten wenn sich die Messsonde zur Messung in der Nähe des gemessenen Objektsubstrats befindet. Die Verwendung dieser Funktion zur Realisierung einer Temperaturkompensation kann den Temperaturmessfehler so weit wie möglich reduzieren. Der Messfehler dieser Methode kann grundsätzlich innerhalb von 1 Prozent kontrolliert werden, während unser derzeitiger nationaler Standard innerhalb von 3 Prozent verlangt. Im Vergleich dazu kann der Messfehler dieser Methode innerhalb von 1 Prozent kontrolliert werden. Die Messgenauigkeit hat die Messgenauigkeit internationaler Markenmaschinen erreicht und ist in China immer noch auf einem sehr hohen Niveau.
