Überlegungen zur Kalibrierung von Schichtdickenmessgeräten
Bei der Kalibrierung des Schichtdickenmessgeräts sollten folgende Punkte beachtet werden:
1. Eine korrekte Kalibrierung ist entscheidend für genaue Messungen. Zur Kalibrierung wird eine dem späteren Messobjekt ähnliche Probe verwendet, dh gleichzeitig sollten die Standardprobe und das Messobjekt die gleiche Form und Geometrie aufweisen. Grundsätzlich gilt: Je mehr Standardmuster des Messobjekts abgeglichen werden, desto genauer werden die Messergebnisse.
2. Stellen Sie sicher, dass folgende Eigenschaften der Kalibrierprobe und des zu messenden Objekts übereinstimmen: -- Krümmungsradius der Oberfläche -- Substratmaterial (z. B. Permeabilität, Leitwert; idealerweise die Standardprobe und das Messobjekt sollte das gleiche Material sein) -- Substratdicke-- Größe des Messbereichs
3. Stellen Sie vor Beginn der Kalibrierung sicher, dass der Kalibrierpunkt, die Sensorspitze und die Kalibrierschablone sauber sind. Entfernen Sie bei Bedarf Ablagerungen wie Fett, Metallspäne usw. Jegliche Verunreinigungen können die Kalibrierung beeinträchtigen und eine Instabilität der Kalibrierung verursachen.
4. Stellen Sie sicher, dass Sie immer die gleiche Kalibrierposition finden, insbesondere bei Messungen an kleinen Teilen und Messungen an Kanten und Ecken. Für Kleinteile werden Messbügel empfohlen.
5. Halten Sie sich während der Kalibrierung von starken Magnetfeldern fern.
6. Mehr Kalibrierstandarddicken, die der erwarteten Dicke entsprechen können, machen die Kalibrierung und Messung genauer.
7. Gemäß der elektromagnetischen Induktionsmethode ist zur Messung der Dicke von Nichteisenmetallbeschichtungen auf Stahl- oder Eisensubstraten eine Mehrpunktkorrektur erforderlich. Das Dickennormal muss aus dem gleichen Metall bestehen wie das später zu messende Objekt.
8. Achten Sie bei der Verwendung von Kalibrierfolien darauf, dass diese flach auf dem Trägermaterial aufliegen. Luftspalte unter der Folie müssen vermieden werden, da dies zu fehlerhaften Messwerten führt. Achten Sie bei krummlinigen Folien darauf, dass diese auf der Unterlage platziert werden.
9. Präzisions-Dickenmessgeräte müssen mit Sorgfalt behandelt werden. Jegliche Abnutzung des Dickennormals wird als falsche Kalibrierungswerte wiedergegeben. Falten Sie die Kalibrierfolie nicht. Jede Krümmung verursacht einen Luftspalt unter der Folie, was zu unregelmäßigen Messwerten führt. Halten Sie den Dickenstandard sauber. Jegliche Fett-, Öl-, Staub- oder sonstige Ablagerungen sind zu vermeiden. Eine Ansammlung von Aluminiumfolie wird als Dicke betrachtet und führt zu einem Messfehler in Höhe der Aufbaudicke. Um Ihnen eine ungefähre Vorstellung zu geben: Eine Anhäufung von Fingerabdrücken reicht aus, um einen zusätzlichen Dickenfehler von mehreren Mikrometern zu verursachen.
