Klassifizierung und Messprinzipien von Schichtdickenmessgeräten
Mit der zunehmenden Weiterentwicklung der Technologie, insbesondere in den letzten Jahren mit der Einführung der Mikrocomputertechnologie, haben Dickenmessgeräte mit Magnet- und Wirbelstromverfahren weitere Fortschritte in Richtung Miniaturisierung, Intelligenz, Multifunktionalität, hoher Präzision und Praktikabilität hinsichtlich der Klassifizierung und Messprinzipien von Schichtdickenmessgeräten gemacht. Die Auflösung der Messung hat 0,1 Mikrometer erreicht und die Genauigkeit kann 1 % erreichen, was erheblich verbessert wurde. Es verfügt über ein breites Anwendungsspektrum, einen großen Messbereich, eine einfache Bedienung und niedrige Kosten, was es zu einem weit verbreiteten Dickenmessgerät in der Industrie und der wissenschaftlichen Forschung macht. Durch den Einsatz zerstörungsfreier Methoden werden die Beschichtung oder das Substrat nicht beschädigt und die Erkennungsgeschwindigkeit ist hoch, wodurch ein großer Prüfaufwand wirtschaftlich durchgeführt werden kann.
Die Messung der Schichtdicke hat sich zu einem wichtigen Bestandteil der Qualitätskontrolle in der verarbeitenden Industrie und Oberflächentechnik entwickelt und ist ein notwendiges Mittel, um Produkte mit hervorragenden Qualitätsstandards zu erreichen. Um unsere Produkte zu internationalisieren, gibt es klare Anforderungen an die Dicke der Beschichtung in Chinas Exportgütern und ausländischen -bezogenen Projekten.
Zu den wichtigsten Messmethoden für die Beschichtungsdicke gehören die Keilschneidemethode, die Lichtschneidemethode, die Elektrolysemethode, die Dickendifferenzmessmethode, die Wiegemethode, die Röntgenfluoreszenzmethode, die Betastrahlen-Rückstreumethode, die Kapazitätsmethode, die magnetische Messmethode und die Wirbelstrommessmethode. Bei den ersten fünf dieser Methoden handelt es sich um eine verlustbehaftete Erkennung, die umständliche Messmethoden und eine langsame Geschwindigkeit aufweist und sich hauptsächlich für die Stichprobenprüfung eignet.
Bei den Röntgen- und Betastrahlenverfahren handelt es sich um berührungslose und zerstörungsfreie Messungen, die Ausrüstung ist jedoch komplex und teuer, und der Messbereich ist klein. Aufgrund des Vorhandenseins radioaktiver Quellen müssen Benutzer die Strahlenschutzbestimmungen einhalten. Mit der Röntgenmethode können extrem dünne Schichten, Doppelschichten und Legierungsschichten gemessen werden. Die Betastrahlenmethode eignet sich zur Messung von Beschichtungen und Substraten mit Ordnungszahlen größer als 3. Die Kapazitätsmethode wird nur zur Messung der Dicke von Isolationsschichten auf dünnen Leitern verwendet.
Prinzipien und Instrumente des Schichtdickenmessgeräts: Klassifizierung und Messprinzipien des Schichtdickenmessgeräts
