Vorteile der Rasterelektronenmikroskopie
1. Vergrößerung
Da die Größe des Fluoreszenzschirms des Rasterelektronenmikroskops fest ist, wird die Änderung der Vergrößerung durch Änderung der Abtastamplitude des Elektronenstrahls auf der Oberfläche der Probe realisiert.
Wenn der Strom der Scanspule verringert wird, verringert sich die Scanreichweite des Elektronenstrahls auf der Probe und die Vergrößerung erhöht sich. Die Einstellung ist sehr praktisch und kann stufenlos von 20-fach bis etwa 200-fach angepasst werden.
2. Auflösung
Die Auflösung ist der Hauptleistungsindex von SEM.
Die Auflösung wird durch den Durchmesser des einfallenden Elektronenstrahls und die Art des Modulationssignals bestimmt:
Je kleiner der Durchmesser des Elektronenstrahls ist, desto höher ist die Auflösung.
Verschiedene zur Bildgebung verwendete physikalische Signale haben unterschiedliche Auflösungen.
Beispielsweise haben SE- und BE-Elektronen unterschiedliche Emissionsbereiche auf der Probenoberfläche und ihre Auflösungen sind unterschiedlich. Im Allgemeinen beträgt die Auflösung von SE etwa 5-10 nm und die von BE etwa 50-200 nm.
3. Schärfentiefe
Es bezieht sich auf eine Reihe von Fähigkeiten, mit denen ein Objektiv gleichzeitig verschiedene Teile einer Probe mit Unebenheiten fokussieren und abbilden kann.
Die endgültige Linse des Rasterelektronenmikroskops verfügt über einen kleinen Öffnungswinkel und eine lange Brennweite, sodass eine große Schärfentiefe erzielt werden kann, die 100-500-mal größer als die eines allgemeinen optischen Mikroskops und zehnmal größer ist das eines Transmissionselektronenmikroskops.
Große Schärfentiefe, starker dreidimensionaler Sinn und realistische Form sind die herausragenden Merkmale von REM.
Proben für REM werden in zwei Kategorien unterteilt:
1 ist eine Probe mit guter Leitfähigkeit, die im Allgemeinen ihre ursprüngliche Form beibehalten kann und im Elektronenmikroskop ohne oder mit etwas Reinigung beobachtet werden kann;
2. Nichtleitende Proben oder Proben, die im Vakuum Wasser verlieren, ausgasen, schrumpfen und sich verformen, müssen ordnungsgemäß behandelt werden, bevor sie beobachtet werden können.
