Vorteile des Rasterelektronenmikroskops
1. Vergrößerungsfaktor
Aufgrund der festen Größe des Leuchtschirms des Rasterelektronenmikroskops wird die Vergrößerungsänderung durch Änderung der Abtastamplitude des Elektronenstrahls auf der Probenoberfläche erreicht.
Wenn der Strom der Abtastspule verringert wird, verringert sich die Abtastamplitude des Elektronenstrahls auf der Probe und der Verstärkungsfaktor erhöht sich. Die Einstellung ist sehr komfortabel und kann stufenlos von 20-fach bis etwa 200.000-fach eingestellt werden.
2. Auflösung
Die Auflösung ist der wichtigste Leistungsindikator der Rasterelektronenmikroskopie.
Die Auflösung wird durch den Durchmesser des einfallenden Elektronenstrahls und die Art des Modulationssignals bestimmt. Mitbestimmung:
Je kleiner der Durchmesser des Elektronenstrahls ist, desto höher ist die Auflösung.
Die zur Bildgebung verwendeten physikalischen Signale variieren in der Auflösung.
Beispielsweise haben SE- und BE-Elektronen unterschiedliche Emissionsbereiche und Auflösungen auf der Probenoberfläche. Die Auflösung von SE liegt im Allgemeinen bei etwa 5-10nm, während die von BE bei etwa 50-200nm liegt.
3. Schärfentiefe
Es bezieht sich auf den Fähigkeitsbereich eines Objektivs, verschiedene Teile einer unebenen Probe gleichzeitig zu fokussieren und abzubilden.
Die endgültige Linse des Rasterelektronenmikroskops verwendet eine kleine Winkelöffnung und eine lange Brennweite, sodass eine große Schärfentiefe erzielt werden kann. Sie ist 100-500-mal größer als die Schärfentiefe des allgemeinen optischen Mikroskops und 10-mal größer als die Schärfentiefe des Transmissionselektronenmikroskops.
Die herausragenden Merkmale von REM sind eine große Schärfentiefe, ein ausgeprägter dreidimensionaler Sinn und eine realistische Morphologie.
Die für die Rasterelektronenmikroskopie verwendeten Proben werden in zwei Kategorien eingeteilt:
1 ist eine Probe mit guter Leitfähigkeit, die im Allgemeinen ihre ursprüngliche Form beibehalten kann und ohne oder mit geringfügiger Reinigung unter einem Elektronenmikroskop beobachtet werden kann;
2 ist eine nicht leitende Probe oder eine Probe mit Wasserverlust, Gasfreisetzung oder Schrumpfungsverformung im Vakuum, die vor der Beobachtung ordnungsgemäß behandelt werden muss.
