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Fehlerprobleme bei Schichtdickenmessgeräten

Jun 14, 2025

Fehlerprobleme bei Schichtdickenmessgeräten

 

(1) Störungen durch starke Magnetfelder. Wir haben einmal ein einfaches Experiment durchgeführt, bei dem die Messungen erheblich gestört wurden, wenn das Instrument in der Nähe eines elektromagnetischen Feldes von etwa 10.000 V betrieben wurde. Wenn es sich sehr nahe am elektromagnetischen Feld befindet, besteht immer noch die Möglichkeit eines Absturzes.


(2) Menschliche Faktoren. Diese Situation tritt häufig bei neuen Benutzern auf. Der Grund, warum das Schichtdickenmessgerät Mikrometer messen kann, liegt darin, dass es kleine Änderungen des Magnetflusses erfassen und in digitale Signale umwandeln kann. Wenn der Benutzer während des Messvorgangs nicht mit dem Instrument vertraut ist, kann es sein, dass die Sonde vom gemessenen Körper abweicht, was zu Änderungen im Magnetfluss und damit zu fehlerhaften Messungen führt. Daher wird empfohlen, dass Benutzer die Messmethode beherrschen, bevor sie dieses Instrument zum ersten Mal verwenden. Die Platzierung der Sonde hat einen erheblichen Einfluss auf die Messung und die Sonde sollte während der Messung senkrecht zur Oberfläche der Probe gehalten werden. Und die Platzierungszeit der Sonde sollte nicht zu lang sein, um Störungen des Magnetfelds des Substrats selbst zu vermeiden.


(3) Bei der Systemkalibrierung wurde kein geeignetes Substrat ausgewählt. Die kleine Ebene des Substrats beträgt 7 mm und die geringe Dicke beträgt 0,2 mm. Messungen unterhalb dieser kritischen Bedingung sind unzuverlässig.


(4) Die Wirkung anhaftender Substanzen. Dieses Instrument reagiert empfindlich auf anhaftende Substanzen, die einen engen Kontakt der Sonde mit der Oberfläche der Deckschicht verhindern. Daher ist es notwendig, Substanzen anzubringen, die einen direkten Kontakt zwischen der Sonde und der Oberfläche der Deckschicht gewährleisten. Bei der Systemkalibrierung muss auch die Oberfläche des ausgewählten Substrats freiliegend und glatt sein.

(5) Das Gerät weist eine Fehlfunktion auf. Zu diesem Zeitpunkt können Sie mit dem technischen Personal kommunizieren oder zur Reparatur ins Werk zurückkehren.

 

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