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Was ist das Funktionsprinzip des Online-Dickenmessgeräts für Dünnschichtbeschichtungen?

Jan 23, 2023

Was ist das Funktionsprinzip des Online-Dickenmessgeräts für Dünnschichtbeschichtungen?

 

Das Jingpu Measurement and Control Thin Film Coating Online Thickness Gauge ist ein Online-Dickenmessgerät, das das Prinzip der optischen Beschichtungstechnologie nutzt, um die Dicke von Materialien zu ermitteln. Die Präzisionsspektrummessung und -steuerung von Dünnschicht-Online-Dickenmessgeräten wird häufig zur Chargenprüfung der Materialdicke in der Produktionslinie verwendet. Die Reaktion auf abnormale Daten ist ein wichtiges Glied in der automatisierten Produktion. Heutzutage sind Online-Dickenmessgeräte für Dünnschichtbeschichtungen aufgrund der rasanten Entwicklung von Wissenschaft und Technologie zu einem unverzichtbaren Werkzeug für die Chargenerkennung der Materialdicke in der Produktionslinie geworden.


Aufgrund der rasanten Entwicklung von Wissenschaft und Technologie hat sich der Bereich der maschinellen Bildverarbeitung heutzutage schnell entwickelt und angewendet. Auch im Bereich der Dünnschichtdickenmessung haben sich Online-Dickenmessgeräte für Dünnschichtbeschichtungen rasant weiterentwickelt. Heutzutage, mit der kontinuierlichen Weiterentwicklung von Wissenschaft und Technologie, wurden auch die Typen und technischen Eigenschaften des Instruments zur Dickenmessung erheblich verbessert. Bei der Anwendung des Dickenmessgeräts in Kombination mit verschiedenen Arten von Dickenmessgeräten ist auch die Verwendung sehr unterschiedlich. Nehmen Sie nun das Dünnschichtdickenmessgerät von Wuxi Precision Measurement and Control. Das Online-Dickenmessgerät zur Präzisionsspektrummessung und -kontrolle von Beschichtungen (Filmdicke) verwendet beispielsweise die Methode der nanooptischen Interferenz, mit der gleichzeitig 20 Schichten ungenutzter Beschichtungen gemessen werden können Filme gleichzeitig, und die Genauigkeit beträgt bis zu 1 nm, was das Problem der herkömmlichen Strahlung perfekt löst. Das Online-Dickenmessgerät hat die Nachteile der Strahlung, der langen Offset-Periode, der geringen Erkennungsgenauigkeit und der Unfähigkeit, die Beschichtungsdicke zu erkennen. Das Präzisions-Online-Dickenmessgerät zur Messung und Steuerung der Beschichtungsdicke verfügt über eine hohe Erkennungsgenauigkeit und kann gleichzeitig automatisch online in Echtzeit kalibrieren, was die Erkennungsgenauigkeit des Online-Dickenmessgeräts effektiv garantiert.


Prinzip der Online-Dickenmessgerät-Erkennung von Dünnschichtbeschichtungen:


Wenn Licht einer bestimmten Wellenlänge unterschiedliche Materialien durchdringt (unterschiedliche Dicke, Dichte, Zusammensetzung), sind die Spektralstreifen, die sich nach mehreren Reflexionen an der Oberfläche und im Inneren bilden, völlig unterschiedlich. Das System analysiert das Spektrum des empfangenen reflektierten Lichts. Die Interferenzstreifeneigenschaften werden mit den Spektralkurven in der Systembibliothek abgeglichen und verglichen, die charakteristischen Kurven werden gleichzeitig simuliert und angepasst, und anschließend werden die Beschichtungen mit unterschiedlichen Bauteildicken gemessen online.

(1) Einfallendes Licht wird an der Ober- und Unterseite der Folie mehrfach reflektiert.


(2) Die Intensität des reflektierten Lichts hängt vom Brechungsindex des Films, dem Brechungsindex des Substrats, der Filmdicke und der Wellenlänge ab.


(3) Bei bekanntem Brechungsindex berechnen Sie die Filmdicke anhand der Funktion der gemessenen Intensität und Wellenlänge des reflektierten Lichts.

 

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