Welche Faktoren beeinflussen die Auflösung der Transmissionselektronenmikroskopie?
A. Durchmesser des einfallenden Elektronenstrahlflecks: Dies ist die Grenze des Auflösungsvermögens des Rasterelektronenmikroskops. Im Allgemeinen kann der minimale Strahlfleckdurchmesser der Heißkathoden-Elektronenkanone auf 6 nm reduziert werden, und die Feldemissions-Elektronenkanone kann den Strahlfleckdurchmesser kleiner als 3 nm machen.
B. Expansionseffekt des einfallenden Elektronenstrahls in der Probe: Der Grad der Diffusion hängt von der Energie der einfallenden Strahlelektronen und der Ordnungszahl der Probe ab. Je höher die Energie des einfallenden Strahls, desto kleiner die Ordnungszahl der Probe, desto größer das Volumen des Elektronenstrahls und die Fläche, in der das Signal erzeugt wird, nimmt mit der Diffusion des Elektronenstrahls zu, wodurch sich die Auflösung verringert.
C. Bildgebungsverfahren und verwendetes Modulationssignal: Wenn das Sekundärelektron als Modulationssignal verwendet wird, wird aufgrund seiner geringen Energie (weniger als 50 eV) und der kurzen mittleren freien Weglänge (ca. 10-100 nm) nur die Oberflächenschicht verwendet von 50-100 nm Die Sekundärelektronen im Tiefenbereich können nur von der Probenoberfläche entweichen, und die Anzahl der auftretenden Streuungen ist sehr begrenzt und dehnt sich grundsätzlich nicht seitlich aus. Daher entspricht die Auflösung des Sekundärelektronenbildes ungefähr dem Durchmesser des Strahlflecks. Wenn die rückgestreuten Elektronen als Modulationssignal verwendet werden, ist die Energie der rückgestreuten Elektronen relativ hoch und die Durchdringungsfähigkeit groß, sodass sie aus einem tieferen Bereich in der Probe (etwa 30 Prozent der effektiven Tiefe) entweichen können. In diesem Tiefenbereich weisen die einfallenden Elektronen eine relativ große seitliche Ausdehnung auf, sodass die Auflösung des Rückstreuelektronenbilds geringer ist als die des Sekundärelektronenbilds, im Allgemeinen etwa 500-2000 nm. Wenn andere Betriebsarten wie Absorption von Elektronen, Röntgenstrahlen, Kathodofluoreszenz, strahlinduzierte Leitfähigkeit oder Potential als Modulationssignale verwendet werden, ist die Auflösung der erhaltenen Scanbilder relativ gering, da die Signale aus dem gesamten Streubereich des Elektronenstrahls stammen , im Allgemeinen bei l 000 nm oder über l0000 nm.
