Welche Kalibrierungsmethoden gibt es für Schichtdickenmessgeräte?
Welche Kalibrierungsmethoden gibt es für Schichtdickenmessgeräte? Es gibt drei Hauptkalibrierungsmethoden für Schichtdickenmessgeräte, nämlich Systemkalibrierung, Zweipunktkalibrierung und Eisenkalibrierung. Unter normalen Umständen ist nur eine Eisenkalibrierung erforderlich, um genaue Messungen durchzuführen. Wenn die magnetischen Eigenschaften und die Oberflächenrauheit der Eisenbasis des Instruments und der Eisenbasis des Messobjekts stark voneinander abweichen, kann eine Systemkalibrierung durchgeführt werden, um die Messgenauigkeit sicherzustellen. Als Nächstes stellen wir die Kalibrierungsmethode für Schichtdickenmessgeräte im Detail vor.
(1) Kalibrierung auf Eisenbasis
Der Magnetismus und die Oberflächenrauheit des Standardgrundmetalls des Instruments sollten dem Magnetismus und der Oberflächenrauheit des Grundmetalls des Prüfstücks ähneln. Um die Genauigkeit der Messung sicherzustellen, kann vor der Messung des Prüfstücks eine eisenbasierte Kalibrierung durchgeführt werden.
Kalibrierungsmethode: Nachdem das Gerät eingeschaltet wurde, platzieren Sie die Sonde zunächst auf dem freiliegenden Substrat des zu messenden Teststücks. Messen Sie zweimal. Halten Sie die Sonde nach der zweiten Messung ruhig und drücken Sie die Taste „CAL“, worauf zwei Pieptöne erklingen. Die eisenbasierte Kalibrierung kann abgeschlossen werden. Wenn keine zwei Pieptöne erklingen, bedeutet dies, dass der Vorgang nicht korrekt ist. Wiederholen Sie die obigen Schritte, bis zwei Pieptöne erklingen.
(2) Zweipunktkalibrierung
Sollten während des Messvorgangs größere Abweichungen einzelner Messwerte auftreten, können diese durch die Methode der Zweipunktkalibrierung korrigiert werden.
Kalibrierungsmethode: Messen Sie ein getestetes Stück mit einer bekannten Dicke als Standardprobe. Wenn der angezeigte Wert nicht mit dem tatsächlichen Wert übereinstimmt, können Sie durch Drücken der Tasten „▲“ oder „▼“ 1 addieren oder subtrahieren. Halten Sie die Tasten „▲“ und „▼“ gedrückt, um kontinuierlich zu addieren und zu subtrahieren, bis der angezeigte Wert dem tatsächlichen Wert entspricht. Nach Abschluss der Kalibrierung kann eine normale Messung durchgeführt werden.
Hinweis: Die Dicke des während der Zweipunktkalibrierung ausgewählten Teststücks sollte nicht nahe an den fünf Probenwerten während der Systemkalibrierung liegen, da sonst der Vorgang ungültig wird.
Wenn die Kalibrierung der fünften Probe abgeschlossen ist, wird auf dem Bildschirm „0000“ angezeigt und die Startoberfläche wird wie in Abbildung A dargestellt aufgerufen. Das Instrument hat den Systemkalibrierungsprozess abgeschlossen. In Zukunft kann das zu testende Gerät direkt gemessen werden.
Hinweis: Diese fünf Probenstücke können das bereitgestellte Standardstück oder ein Probenstück mit bekannter Dicke als Standardstück verwenden. Die Probenkalibrierung sollte in der Reihenfolge von klein nach groß durchgeführt werden, und zwischen benachbarten Proben sollte ein gewisser Unterschied bestehen.
