Typen und Merkmale von Rasterelektronenmikroskopen
Es gibt verschiedene Arten von Rasterelektronenmikroskopen, und verschiedene Arten von Rasterelektronenmikroskopen weisen Leistungsunterschiede auf. Nach der Art der Elektronenpistole kann sie in drei Arten unterteilt werden: Elektronenpistole Feldemission, Wolframdrahtpistole und Lanthan -Hexaborid. Unter diesen kann die Elektronenmikroskopie der Feldemissionsrscanning in die Elektronenmikroskopie des Kaltfeldemissions -Rasters und die Elektronenmikroskopie mit heißem Feldemissionsemission unterteilt werden, basierend auf der Leistung der Lichtquelle. Die Elektronenmikroskopie des Kaltfeldemissions -Rastreizes erfordert hohe Vakuumbedingungen, instabiler Strahlstrom, eine kurze Lebensdauer des Emitters und eine regelmäßige Reinigung der Nadelspitze, die sich auf eine Beobachtung mit einem Bild beschränkt und einen begrenzten Anwendungsbereich aufweist. Das Elektronenmikroskop des thermischen Feldemissions -Rasters hat nicht nur eine lange kontinuierliche Arbeitszeit, sondern kann auch mit verschiedenen Zubehör kombiniert werden, um eine umfassende Analyse zu erzielen. Im Bereich der Geologie müssen wir nicht nur die vorläufige Morphologie von Proben beobachten, sondern auch andere Eigenschaften von Proben in Kombination mit Analysatoren analysieren, so
Obwohl die Rasterelektronenmikroskopie ein Neuling in der Mikroskopfamilie ist, ist seine Entwicklungsgeschwindigkeit aufgrund ihrer vielen Vorteile sehr schnell.
Das Instrument hat eine hohe Auflösung und kann durch sekundäre Elektronenbildgebung Details von etwa 6 nm auf der Oberfläche der Probe beobachten. Durch die Verwendung einer LAB6 -Elektronenpistole kann sie weiter auf 3nm verbessert werden.
Das Instrument hat eine Vielzahl von Vergrößerungsänderungen und kann kontinuierlich eingestellt werden. Daher können unterschiedliche Sichtfelder für die Beobachtung nach Bedarf ausgewählt werden, und klare Bilder mit hoher Helligkeit, die mit allgemeiner Transmissionselektronenmikroskopie schwer zu erreichen sind, können auch bei hoher Vergrößerung erhalten werden.
Die Tiefe von Feld und Sichtfeld der Probe ist groß und das Bild ist reich an dreidimensionalem Sinne. Es kann direkt raue Oberflächen mit großen Wellen und ungleichmäßigen Metallbruchbildern der Probe beobachten, was den Menschen das Gefühl gibt, in der mikroskopischen Welt vorhanden zu sein.
Die Herstellung der 4 Proben ist einfach. Solange die Block- oder Pulverproben leicht behandelt oder nicht behandelt werden, können sie direkt unter einem Rasterelektronenmikroskop beobachtet werden, das näher am natürlichen Zustand der Substanz liegt.
5. Die Bildqualität kann durch elektronische Methoden effektiv gesteuert und verbessert werden, wie die automatische Aufrechterhaltung von Helligkeit und Kontrast, Korrektur des Proben -Neigungswinkels, Bildrotation oder Verbesserung der Bildkontrastverträglichkeit durch Y -Modulation sowie mittelschwerer Helligkeit und Dunkelheit in verschiedenen Teilen des Bildes. Durch die Verwendung eines doppelten Vergrößerungsgeräts oder eines Bildauswahl können Bilder mit unterschiedlichen Vergrößerungen gleichzeitig auf dem fluoreszierenden Bildschirm beobachtet werden.
6 kann einer umfassenden Analyse unterzogen werden. Installieren Sie ein Wellenlängen-dispergierendes Röntgenspektrometer (WDX) oder ein Energiedispersionsröntgenspektrometer (EDX), um es als Elektronensonde und Erkennung reflektierter Elektronen, Röntgenstrahlen, Cathodolumineszenz, übertragenen Elektronen, Schneckenelektronen usw. zu ermöglichen. Die Erweiterung der Anwendung der Rasterelektronenmikroskopie auf verschiedene mikroskopische und Mikroflächenanalysemethoden hat die Multifunktionalität der Rasterelektronenmikroskopie gezeigt. Darüber hinaus ist es auch möglich, die ausgewählten Mikrobereiche der Probe zu analysieren und gleichzeitig das Morphologiebild zu beobachten. Durch die Installation des Halbleiter -Probenhalter -Ansatzes können PN -Verbindungen und Mikrodefekte bei Transistoren oder integrierten Schaltungen direkt durch einen Bildverstärker der elektromotiven Kraft beobachtet werden. Aufgrund der Implementierung der automatischen und semiautomatischen Steuerung elektronischer Computer für viele Elektronen-Sonden für Scan-Elektronenmikroskop wurde die Geschwindigkeit der quantitativen Analyse erheblich verbessert.
