Name und Funktion der einzelnen Teile des Konfokalmikroskops
Basierend auf dem Prinzip der konfokalen Technologie wird das konfokale Mikroskop verwendet, um die Oberfläche verschiedener Präzisionsgeräte und Materialien auf Mikro- und Nanoebene zu messen und kann die Oberflächenmorphologie von Materialproben direkt abbilden, mit einer lateralen Auflösung von bis zu 1 nm und einer Z-Achsen-Auflösung von bis zu 0,5 nm. Es kann nicht nur die Oberflächenmorphologie der Probe messen und die Funktion zur Charakterisierung der mikroskopischen Morphologie der Profilgrößenmessung bieten, sondern bietet auch fünf wichtige Analysefunktionen, wie Rauheitsanalyse, geometrische Profilanalyse, Strukturanalyse, Frequenzanalyse und Funktionsanalyse. Rauheitsanalyse, geometrische Profilanalyse, Strukturanalyse, Frequenzanalyse und Funktionsanalyse werden ebenfalls angeboten.
Die Rauheitsanalyse umfasst eine Vollparameteranalyse gemäß ISO4287 Linienrauheit, ISO25178 Oberflächenrauheit, ISO12781 Ebenheit usw.; die geometrische Konturanalyse umfasst Stufenhöhe, Abstand, Winkel, Krümmung und andere Merkmalsmessungen sowie die Bewertung von Geradheit, Rundheit und Formtoleranz; die Strukturanalyse umfasst das Volumen der Löcher und die Tiefe der Mulde usw.; die Frequenzanalyse umfasst die Richtung der Maserung und die Spektrumanalyse; die Funktionsanalyse umfasst die Richtungs- und Frequenzspektrumanalyse; die Frequenzanalyse umfasst die Richtungs- und Frequenzspektrumanalyse; und eine Funktionsanalyse ist ebenfalls verfügbar. Die Frequenzanalyse umfasst die Texturrichtung und die Spektrumanalyse; die Funktionsanalyse umfasst SK-Parameter und Volumenparameter.
Die Struktur eines konfokalen Mikroskops besteht im Wesentlichen aus: Mikroskop, Laserlichtquelle, Scangerät, Detektor, Computersystem (einschließlich Datenerfassung, -verarbeitung, -konvertierung, Anwendungssoftware), Bildausgabegerät, optischem Gerät und konfokalem System.
In den Bereichen Keramik, Metalle, Halbleiter, Chips und andere Materialien sowie in der Produktionsprüfung finden Konfokalmikroskope ein breites Anwendungsspektrum. Konfokalmikroskope basieren auf dem Prinzip der konfokalen Mikroskopie. Sie scannen berührungslos die Geräteoberfläche und erstellen ein 3D-Bild der Oberfläche. Die Systemsoftware verarbeitet und analysiert die 3D-Bilddaten der Geräteoberfläche, um 2D- und 3D-Parameter zu erhalten, die die Qualität der Geräteoberfläche widerspiegeln, und ermöglicht so eine 3D-Messung der Oberflächenmorphologie des Geräts.
Kann häufig in der Halbleiterherstellung und bei der Inspektion von Verpackungsprozessen, bei elektronischen 3C-Glasbildschirmen und deren Präzisionsteilen, in der optischen Verarbeitung, bei der Herstellung von Mikro- und Nanomaterialien, bei Automobilteilen, MEMS-Geräten und anderen hochpräzisen Bearbeitungsindustrien sowie in der Luft- und Raumfahrt, in wissenschaftlichen Forschungsinstituten und anderen Bereichen eingesetzt werden. Messen und analysieren Sie das Oberflächenprofil, Oberflächendefekte, Verschleiß, Korrosion, Ebenheit, Rauheit, Riffelung, Porenfreiheit, Stufenhöhe, Biegeverformung, Verarbeitung und andere Oberflächenmerkmale verschiedener Produkte, Komponenten und Materialoberflächen.
