Einführung in den Aufbau des Elektronenmikroskops
Das Elektronenmikroskop besteht aus drei Teilen: Objektivtubus, Vakuumsystem und Netzteilschrank. Der Objektivtubus umfasst hauptsächlich Elektronenkanonen, Elektronenlinsen, Probenhalter, Leuchtschirme und Kameramechanismen. Diese Komponenten werden üblicherweise von oben nach unten zu einer Säule zusammengesetzt; Das Vakuumsystem besteht aus mechanischen Vakuumpumpen, Diffusionspumpen und Vakuumventilen. Die Gasleitung ist mit dem Objektivtubus verbunden und der Schaltschrank besteht aus einem Hochspannungsgenerator, einem Erregerstromstabilisator und verschiedenen Einstellsteuereinheiten.
◆Elektronische Linse
Die Elektronenlinse ist der wichtigste Teil des Objektivtubus des Elektronenmikroskops. Es nutzt ein räumliches elektrisches Feld oder Magnetfeld symmetrisch zur Achse des Objektivtubus, um die Elektronenspur zur Achse zu biegen und so einen Fokus zu bilden. Seine Funktion ähnelt der einer Glaskonvexlinse zur Fokussierung des Strahls und wird daher Elektron genannt. Linse. Die meisten modernen Elektronenmikroskope verwenden elektromagnetische Linsen, die Elektronen durch ein starkes Magnetfeld fokussieren, das durch einen sehr stabilen Gleichstrom-Erregerstrom erzeugt wird, der durch eine Spule mit Polschuhen fließt.
◆Elektronenkanone
Die Elektronenkanone ist eine Komponente, die aus einer Glühkathode aus Wolframfaden, einem Gitter und einer Kathode besteht. Es kann einen Elektronenstrahl mit gleichmäßiger Geschwindigkeit emittieren und formen, daher muss die Stabilität der Beschleunigungsspannung mindestens ein Zehntausendstel betragen.
