Einführung in die Leistungsmerkmale von Rasterelektronenmikroskopen
Einführung in die Leistungsmerkmale von Rasterelektronenmikroskopen
Es gibt verschiedene Arten von Rasterelektronenmikroskopen, und die Leistung der verschiedenen Arten von Rasterelektronenmikroskopen unterscheidet sich. Je nach Art der Elektronenkanone kann man sie in drei Typen unterteilen: Feldemissionselektronenkanone, Wolframdrahtkanone und Lanthanhexaborid [5]. Unter ihnen können Feldemissions-Rasterelektronenmikroskope je nach Leistung der Lichtquelle in kalte Feldemissions-Rasterelektronenmikroskope und heiße Feldemissions-Rasterelektronenmikroskope unterteilt werden. Die kalte Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie stellt hohe Anforderungen an die Vakuumbedingungen, ist instabil und hat eine kurze Lebensdauer des Emitters. Außerdem muss die Spitze regelmäßig gereinigt werden. Sie ist auf die Betrachtung eines einzelnen Bildes beschränkt und hat einen begrenzten Anwendungsbereich. Die thermische Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie hingegen hat nicht nur eine kontinuierliche, sondern auch eine lange Betriebszeit und kann mit einer Vielzahl von Zubehörteilen verwendet werden, um eine umfassende Analyse zu erreichen. Im Bereich der Geologie müssen wir nicht nur vorläufige morphologische Untersuchungen an Proben durchführen, sondern auch Analysegeräte kombinieren, um andere Eigenschaften der Proben zu analysieren. Daher wird die thermische Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie häufiger eingesetzt.
Das Rasterelektronenmikroskop (REM) ist ein Präzisionsinstrument im großen Maßstab, das zur hochauflösenden Analyse der Morphologie von Mikroregionen verwendet wird. Es zeichnet sich durch große Tiefenschärfe, hohe Auflösung, intuitive Bildgebung, starkes dreidimensionales Empfinden und einen großen Vergrößerungsbereich aus. Die zu untersuchende Probe kann im dreidimensionalen Raum gedreht und gekippt werden. Darüber hinaus bietet es die Vorteile einer Vielzahl messbarer Probentypen, nahezu keiner Beschädigung oder Verunreinigung der Originalprobe und der Möglichkeit, gleichzeitig Informationen über Morphologie, Struktur, Zusammensetzung und Kristallographie zu erhalten. Derzeit werden Rasterelektronenmikroskope in der mikroskopischen Forschung in den Bereichen Biowissenschaften, Physik, Chemie, Recht, Geowissenschaften, Materialwissenschaften und industrielle Produktion häufig eingesetzt. Allein in den Geowissenschaften umfasst dies Kristallographie, Mineralogie und Minerallagerstättenforschung, Sedimentologie, Geochemie, Gemmologie, Mikropaläontologie, astronomische Geologie, Öl- und Gasgeologie, Ingenieurgeologie und Strukturgeologie usw.
Obwohl die Rasterelektronenmikroskopie ein aufsteigender Stern in der Mikroskopfamilie ist, entwickelt sie sich aufgrund ihrer zahlreichen Vorteile rasch weiter.
1. Die Auflösung des Instruments ist hoch. Es kann Details von etwa 6 nm auf der Oberfläche der Probe durch das Sekundärelektronenbild beobachten. Mit der LaB6-Elektronenkanone kann sie weiter auf 3 nm verbessert werden.
2 Die Vergrößerung des Instruments ist in einem großen Bereich veränderbar und kann kontinuierlich angepasst werden. Daher können Sie je nach Bedarf verschiedene Sichtfeldgrößen für die Beobachtung wählen. Gleichzeitig können Sie auch bei hoher Vergrößerung klare Bilder mit hoher Helligkeit erhalten, die mit herkömmlichen Transmissionselektronenmikroskopen nur schwer zu erreichen sind.
3. Die Schärfentiefe zur Beobachtung der Probe ist groß, das Sichtfeld ist groß und das Bild ist voller Dreidimensionalität. Die raue Oberfläche mit großen Schwankungen und das ungleichmäßige Metallbruchbild der Probe können direkt beobachtet werden, was den Menschen das Gefühl gibt, die mikroskopische Welt persönlich zu besuchen.
4. Die Probenvorbereitung ist einfach. Solange die Block- oder Pulverprobe leicht oder nicht verarbeitet ist, kann sie zur Beobachtung direkt in das Rasterelektronenmikroskop gelegt werden, sodass sie dem natürlichen Zustand der Materie näher kommt.
5. Die Bildqualität kann durch elektronische Methoden effektiv gesteuert und verbessert werden, wie z. B. durch automatische Beibehaltung von Helligkeit und Kontrast, Korrektur des Neigungswinkels der Probe, Bilddrehung oder Verbesserung der Bildkontrasttoleranz durch Y-Modulation sowie durch Helligkeit und Dunkelheit jedes Teils des Bildes. Mäßig. Mithilfe eines Geräts mit doppelter Vergrößerung oder eines Bildwählers können Bilder mit unterschiedlicher Vergrößerung gleichzeitig auf dem Leuchtschirm betrachtet werden.
6 Umfassende Analysen sind möglich. Ausgestattet mit einem wellenlängendispersiven Röntgenspektrometer (WDX) oder energiedispersiven Röntgenspektrometer (EDX) hat es die Funktion einer Elektronensonde und kann auch von der Probe emittierte reflektierte Elektronen, Röntgenstrahlen, Kathodenfluoreszenz, Transmissionselektronen und Auger-Elektronen erkennen. Elektronik usw. Die erweiterte Anwendung der Rasterelektronenmikroskopie auf verschiedene mikroskopische und Mikrobereichsanalysemethoden zeigt die Vielseitigkeit der Rasterelektronenmikroskopie. Darüber hinaus können Sie auch ausgewählte Mikrobereiche der Probe analysieren, während Sie das Morphologiebild beobachten. Durch die Installation des Halbleiterprobenhalterzubehörs können Sie den PN-Übergang und mikroskopische Defekte im Transistor oder integrierten Schaltkreis direkt über den elektromotorischen Kraftbildverstärker beobachten. Da viele Rasterelektronenmikroskop-Elektronensonden eine automatische und halbautomatische Steuerung durch elektronische Computer realisiert haben, wurde die Geschwindigkeit der quantitativen Analyse erheblich verbessert.
