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Ungenaue Messungen von Schichtdickenmessgeräten können aus mehreren Gründen auftreten

Dec 14, 2023

Ungenaue Messungen von Schichtdickenmessgeräten können aus mehreren Gründen auftreten

 

(1) Störungen durch starke Magnetfelder. Wir haben einmal ein einfaches Experiment durchgeführt. Wenn das Instrument in der Nähe eines elektromagnetischen Felds von etwa 10,000 V arbeitet, wird die Messung stark gestört. Wenn Sie sich sehr nahe am elektromagnetischen Feld befinden, kann es zu einem Absturz kommen.


(2) Menschliche Faktoren. Diese Situation tritt häufig bei neuen Benutzern auf. Der Grund, warum das Schichtdickenmessgerät bis auf den Mikrometerbereich messen kann, besteht darin, dass es kleine Änderungen des magnetischen Flusses aufnehmen und in ein digitales Signal umwandeln kann. Wenn der Benutzer mit dem Instrument nicht vertraut ist, kann die Sonde während des Messvorgangs vom zu messenden Körper abweichen, was zu Änderungen des magnetischen Flusses und fehlerhaften Messungen führt. Daher wird empfohlen, dass Benutzer sich zunächst mit der Messmethode vertraut machen, wenn sie dieses Instrument zum ersten Mal verwenden. Die Platzierung der Sonde hat einen großen Einfluss auf die Messung. Die Sonde sollte während der Messung senkrecht zur Oberfläche der Probe gehalten werden. Und die Sonde sollte nicht zu lange platziert werden, um Störungen durch das Magnetfeld der Matrix selbst zu vermeiden.


(3) Bei der Systemkalibrierung wurde keine geeignete Matrix ausgewählt. Die kleinste Fläche des Substrats ist 7 mm groß und die Mindestdicke beträgt 0,2 mm. Messungen unterhalb dieser kritischen Bedingung sind unzuverlässig.


(4) Der Einfluss von anhaftenden Substanzen. Dieses Instrument ist empfindlich gegenüber anhaftenden Substanzen, die verhindern, dass die Sonde engen Kontakt mit der Deckfläche hat. Daher müssen anhaftende Materialien entfernt werden, um einen direkten Kontakt zwischen der Sonde und der Deckfläche sicherzustellen. Bei der Systemkalibrierung muss die Oberfläche des ausgewählten Substrats außerdem blank und glatt sein.


(5) Das Gerät funktioniert nicht. Sie können sich an einen Techniker wenden oder das Gerät zur Reparatur an das Werk zurückschicken.
Warum kommt es während des Messvorgangs teilweise zu deutlichen Abweichungen in den Messdaten?
Während des Messvorgangs können die Messdaten aufgrund einer falschen Platzierung der Sonde oder des Einflusses externer Störfaktoren erheblich größer sein. Zu diesem Zeitpunkt können Sie die CAL-Taste gedrückt halten, um die Daten zu löschen und das Eingeben der Datenstatistik zu vermeiden.

 

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