Welche Faktoren begrenzen im Vergleich zu herkömmlichen optischen Mikroskopen und Elektronenmikroskopen das Auflösungsvermögen von Rasterkraftmikroskopen?
Das Auflösungsvermögen herkömmlicher optischer Mikroskope ist durch die Beugungsgrenze des Lichts begrenzt und sein minimaler Auflösungsabstand beträgt die Hälfte seiner Lichtwellenlänge. Das Auflösungsvermögen des Elektronenmikroskops ist ebenfalls durch die Beugungsgrenze begrenzt und sein minimales Auflösungsvermögen beträgt die Hälfte der Elektronen-de-Broglie-Wellenlänge, sodass das Elektronenmikroskop ein höheres Auflösungsvermögen als das herkömmliche optische Mikroskop erreichen kann.
Das Auflösungsvermögen des Rasterkraftmikroskops hängt hauptsächlich ab von: der Größe der Sondenspitze; Je niedriger der Elastizitätskoeffizient des Mikroauslegers, desto empfindlicher ist das Rasterkraftmikroskop. das Verhältnis der Länge des Auslegers zur Länge des Laserlichts; die Empfindlichkeit des Detektors PSD gegenüber der Spotposition. Bei einem Bild mit einer bestimmten Auflösung gilt: Je kleiner der Scanbereich, desto feiner ist die erhaltene Oberflächentopographie.
