Methode zur Messung der Temperaturkompensation des Schichtdickenmessgeräts
Die Temperaturkompensationsmessmethode des Beschichtungsdickenmessgeräts umfasst die Schritte der Temperaturkoeffizientenkalibrierung, der Nullkalibrierung beim Einschalten und der Dickenmessung und berechnet schließlich den Wert der tatsächlichen Beschichtungsdicke dx; unter Verwendung der Korrelation zwischen der Änderung des elektromagnetischen Feldes der Induktionsspule und der Temperatur, d wenn sich die Messsonde zur Messung in der Nähe des zu messenden Objektsubstrats befindet. Durch die Verwendung dieser Eigenschaft zur Realisierung einer Temperaturkompensation kann der Temperaturmessfehler so weit wie möglich reduziert werden. Der Messfehler dieser Methode kann im Wesentlichen auf 1 Prozent kontrolliert werden, während unser aktueller nationaler Standard eine Abweichung von 3 Prozent erfordert. Im Vergleich dazu kann der Messfehler dieser Methode innerhalb von 1 Prozent kontrolliert werden. Die Messgenauigkeit hat die Messgenauigkeit internationaler Markenmaschinen erreicht und liegt in China immer noch auf einem sehr hohen Niveau.
