Analyse mittels optischer Mikroskopie (OM)
Technische Grundlagen
Das Abbildungsprinzip eines optischen Mikroskops besteht darin, die Oberfläche eines Teststücks mit sichtbarem Licht zu beleuchten, um lokale Streuung oder Reflexion zu verursachen und so unterschiedliche Kontraste zu bilden. Da die Wellenlänge des sichtbaren Lichts jedoch bis zu {{0}} Angström beträgt, ist die Auflösung (oder Unterscheidungsrate, Auflösungsenergie) des Systems natürlich am schlechtesten. Da die Unterscheidungsrate des bloßen Auges im Normalbetrieb nur 0,2 mm beträgt, beträgt die optimale Auflösung des optischen Mikroskops nur 0,2 µm, sodass die theoretische maximale Vergrößerung nur das 1000-fache des größten Abbildungssystems ist, was zeigt, dass Beobachtungen mit optischen Mikroskopen tatsächlich noch viele vorläufige Strukturinformationen liefern können.
Maschinentyp
Analytische Anwendungen
Obwohl die Vergrößerung und Auflösung optischer Mikroskope den Anforderungen zur Oberflächenbeobachtung vieler Materialien nicht gerecht werden, werden sie dennoch häufig in folgenden Bereichen eingesetzt:
Beobachtung der Querschnittsstruktur von Bauteilen;
Analyse und Beobachtung planarer Delayed-Strukturen;
Beobachtung der niederschlagsfreien Zone;
Beobachtung von Dellen durch schlechte Ausrichtung und Überätzung (Overetch);
Forschung zu oxidationsverstärkten Stapelfehlern (OSF) usw.
Was ist die maximale Vergrößerung eines optischen Mikroskops?
Die Vergrößerung bei einem optischen Mikroskop beruht hauptsächlich darauf, dass das Objektiv das Objekt tatsächlich vergrößert und das Okular das durch das Objektiv vergrößerte Bild zusätzlich vergrößert. Das Objektiv eines optischen Mikroskops kann nur bis zu 100-fach und das Okular nur bis zu 10-fach vergrößert werden.
16 mal
Das maximale Okular beträgt 20x. Wenn also die Objektivlinse 100-fach und das Okular 20-fach ist, kann die Gesamtvergrößerung 2000-fach erreichen. Aber 2000-fach ist nur ein numerisches 2000-fach, keine echte Vergrößerung von 2000-fach. Wenn beispielsweise das Okular 10x ist, ist die Objektivlinse 100x und die Gesamtvergrößerung 1000x, weil die tatsächliche Vergrößerung der Objektivlinse immer noch 100x ist, aber das Okular von 10x auf 20x geändert wird. Sieht 2000-fach aus
1000-mal, ein Unterschied vom Doppelten, aber tatsächlich ist es nur ein Unterschied vom Zehnfachen.
