Eine Einführung in die Leistungsmerkmale des Rasterelektronenmikroskops
Es gibt verschiedene Arten von Rasterelektronenmikroskopen und verschiedene Arten von Rasterelektronenmikroskopen weisen unterschiedliche Leistungen auf. Je nach Art der Elektronenkanone kann sie in drei Typen unterteilt werden: Feldemissionselektronenkanone, Wolframdrahtkanone und Lanthanhexaborid [5]. Unter diesen kann die Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie entsprechend der Leistung der Lichtquelle in Kaltfeldemissions-Rasterelektronenmikroskopie und thermische Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie unterteilt werden. Das Kaltfeldemissions-Rasterelektronenmikroskop erfordert Hochvakuumbedingungen, der Strahlstrom ist instabil, der Emitter hat eine kurze Lebensdauer und die Nadelspitze muss regelmäßig gereinigt werden, was auf eine Einzelbildbeobachtung beschränkt ist, und der Anwendungsbereich ist begrenzt; Während das thermische Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop nicht nur kontinuierlich ist, kann es über einen langen Zeitraum arbeiten und kann auch mit einer Vielzahl von Zubehörteilen kombiniert werden, um eine umfassende Analyse zu erreichen. Im Bereich der Geologie müssen wir nicht nur die vorläufige Morphologie der Probe beobachten, sondern in Kombination mit dem Analysator auch andere Eigenschaften der Probe analysieren, weshalb das Rasterelektronenmikroskop mit thermischer Feldemission häufiger eingesetzt wird.
Das Rasterelektronenmikroskop (REM) ist ein großes Präzisionsinstrument für die hochauflösende Analyse der Mikrodomänenmorphologie. Es zeichnet sich durch große Schärfentiefe, hohe Auflösung, intuitive Bildgebung, starken stereoskopischen Effekt, großen Vergrößerungsbereich aus und die zu testende Probe kann im dreidimensionalen Raum gedreht und geneigt werden. Darüber hinaus bietet es die Vorteile einer großen Vielfalt messbarer Proben, nahezu keiner Beschädigung und Kontamination der Originalprobe und der gleichzeitigen Erfassung von Morphologie, Struktur, Zusammensetzung und kristallografischen Informationen. Derzeit wird die Rasterelektronenmikroskopie häufig in der mikroskopischen Forschung in den Bereichen Biowissenschaften, Physik, Chemie, Justiz, Geowissenschaften, Materialwissenschaften und industrielle Produktion eingesetzt. , Sedimentologie, Geochemie, Gemmologie, Mikropaläontologie, Astrogeologie, Öl- und Gasgeologie, Ingenieurgeologie und Strukturgeologie usw.
Obwohl das Rasterelektronenmikroskop aufgrund seiner vielen Vorteile ein aufstrebender Stern in der Mikroskopfamilie ist, ist die Entwicklungsgeschwindigkeit sehr hoch.
1. Die Auflösung des Instruments ist relativ hoch und die Details von etwa 6 nm auf der Oberfläche der Probe können durch das Sekundärelektronenbild beobachtet werden, das durch Verwendung einer LaB6-Elektronenkanone weiter auf 3 nm verbessert werden kann.
2 Die Vergrößerung des Instruments hat einen großen Bereich und kann stufenlos eingestellt werden. Daher können je nach Bedarf unterschiedliche Sichtfelder für die Beobachtung ausgewählt werden, und gleichzeitig können auch bei hoher Vergrößerung klare Bilder mit hoher Helligkeit erhalten werden, die mit allgemeinen Transmissionselektronenmikroskopen nur schwer zu erreichen sind.
3 Die Beobachtung der Probe hat eine große Schärfentiefe, ein großes Sichtfeld und das Bild ist voller Dreidimensionalität. Es kann die raue Oberfläche mit großen Wellen und das ungleichmäßige Metallbruchbild der Probe direkt beobachten, was den Menschen das Gefühl gibt, sich in der mikroskopischen Welt zu befinden.
4. Die Probenvorbereitung ist einfach. Solange die Block- oder Pulverprobe leicht bearbeitet oder nicht bearbeitet ist, kann sie zur Beobachtung direkt in das Rasterelektronenmikroskop gelegt werden, sodass sie dem natürlichen Zustand des Materials näher kommt.
5 Es kann die Bildqualität durch elektronische Methoden effektiv steuern und verbessern, wie z. B. die automatische Aufrechterhaltung von Helligkeit und Kontrast, die Korrektur des Probenneigungswinkels, die Bilddrehung oder die Verbesserung der Toleranz des Bildkontrasts durch Y-Modulation sowie der Helligkeit und Dunkelheit verschiedener Teile des Bildes Mäßig. Mit einem Doppelvergrößerungsgerät oder einem Bildwähler können gleichzeitig Bilder mit unterschiedlichen Vergrößerungen auf dem Leuchtschirm betrachtet werden.
6 für eine umfassende Analyse. Installieren Sie ein wellenlängendispersives Röntgenspektrometer (WDX) oder ein energiedispersives Röntgenspektrometer (EDX), sodass es die Funktion einer Elektronensonde hat und auch reflektierte Elektronen, Röntgenstrahlen, Kathodofluoreszenz, durchgelassene Elektronen und Auger-Elektronik erfassen kann usw. Die Ausweitung der Anwendung der Rasterelektronenmikroskopie auf verschiedene mikroskopische und mikroflächenanalytische Methoden zeigt die Vielseitigkeit der Rasterelektronenmikroskopie. Darüber hinaus kann es auch den optionalen Mikrobereich der Probe analysieren und gleichzeitig das Topographiebild betrachten; Installieren Sie das Halbleiter-Probenhalterzubehör und beobachten Sie den PN-Übergang und mikroskopische Defekte im Transistor oder integrierten Schaltkreis direkt über den Bildverstärker der elektromotorischen Kraft. Da viele elektronische Sonden des Rasterelektronenmikroskops eine automatische und halbautomatische elektronische Computersteuerung implementiert haben, wurde die Geschwindigkeit der quantitativen Analyse erheblich verbessert.
